產(chǎn)品概述

室溫手動(dòng)探針臺(tái)的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，外接不同的測(cè)量?jī)x器，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)，用于室溫下的芯片、晶圓和器件的非破壞性測(cè)試。

PSM系列室溫手動(dòng)探針臺(tái)是一款高品質(zhì)的探針臺(tái)能夠?qū)?寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備，可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量?？茖W(xué)的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究的選擇。

特點(diǎn)
• 穩(wěn)定的雙位移調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可以調(diào)節(jié)樣品座和探針臂的位移。
• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，采用多孔分區(qū)控制氣體吸附固定。
• 移動(dòng)樣品座下面的滑臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)X-Y軸±100mm的移動(dòng)行程，使得樣品測(cè)試和換樣更加便捷。滑臺(tái)采用磁力吸附固定。
• 可安裝6個(gè)探針臂。
• 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動(dòng)，并且可以三維微調(diào)，操作方便，扎針精準(zhǔn)，四個(gè)探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內(nèi)。
• CCD放大倍數(shù)為180倍，工作距離為100mm。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)分類：

參數(shù)和指標(biāo)：